rca clean清洗流程

二、RCA Clean發展技術 1965年發展出之RCA清洗法仍是目前最先 進清洗技術的基礎。其典型流程從SPM 去除有 機重污染開始,接著以稀釋氫氟酸(DHF)浸 泡些許時間。標準化的第一步清洗(SC1)使 用APM以移除微粒子,而標準化的第二步清洗 ...

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